故障检查 问题1    泵不旋转 
      原因：①电机接线错误 ②带电磁开关等安全回路安装错误 ③油的粘度变高 ④异物进入泵内，转子等发生咬死 ⑤排放反应性气体后、泵停止期间反应生成物在泵内积存
　　处理方法：①检查接线 ②安全回路符合电机要求 ③换油 ④检修（更换缸体、转子、盖板） ⑤检修（清洗泵的内部，除去反应生成物）

故障检查 问题2    压力不下降
      原因：①相对于真空容器的容量、泵的排气容量小 ②压力的测量方法错误 ③真空计不合适 ④吸气口的连接管径细小或管道过长 ⑤吸气口的金属网堵塞 ⑥油量不到规定值 ⑦油变质 ⑧连接泵的管道漏气 ⑨没有使用本公司的纯正油 ⑩油不循环a盖等零件的油路堵塞b油分配阀故障 ⑾泵内混入水
      处理方法：①重新选泵 ②正确测量压力 ③使用与测量压力范围相符且校准正确的真空计 ④采用大于吸气口径的管道、缩短与真空容器的距离 ⑤拆下吸气口上部的管道，清洗金属网 ⑥加油到规定量 ⑦换油 ⑧用氦检漏仪等检漏机器找出漏孔并堵漏 ⑨泵维修后换上本公司的纯正油 ⑩维修a清洁油路b检查维修油分配阀 ⑾检查漏水的地方（泵内的冷却水管、接头等的检查、更换）

故障检查 问题3    有异常音
      原因：①电机反方向旋转 ②节流阀堵塞 ③起动和停止时有“卡嗒卡嗒”声 ④油不循环a盖等零件的油路堵塞b油分配阀故障 ⑤冷却水不流动（没有流入规定量的冷却水）
      处理方法：①重新接线使转方正确 ②拆下侧面铭牌，洗净、调整节流阀 ③泵内叶片暂时不规则运动而产生的现象，没有特别的问题 ④维修a清扫油穴b检查维修油分配阀 ⑤通入规定的冷却水流（还不能消异常音的情况，需进行检、修理）

故障检查 问题4    泵表面温度异常高室温+60℃以上
      原因：①冷却水不流动（没有流入规定量的冷却水） ②高吸气压下连续运转 ③油量不到规定值（油量少，泵的冷却效果降低）④吸入气体温度高 ⑤油不循环a盖板等油路堵塞b油分配阀故障
      处理方法：①提供规定量的冷却水流 ②在高吸气压下连续运转，泵的表面温度将达一到100℃、没有特别的问题 ③油加至规定量 ④吸气端安装气体冷却机 ⑤维修a疏通油路b检查维修油分配阀

故障检查 问题5    从排气口喷出很多油
      原因：①油超过规定量 ②在高吸气压下连续运转
      处理方法：①油减少到规定量 ②排气端安装油雾过滤器

故障检查 问题6    泵外部漏油
      原因：①外壳、盖的O形圈、油封老化 ②泵长期工作在高压力状态下
      处理方法：①检查更换O形圈、油封 ②请选用耐热密封件

故障检查 问题7    泵外部漏水
      原因：①盖的O形圈、密封垫老化 ②冷却水接头未紧固 ③螺塞的密封不好
      处理方法：①检查更换O形圈、密封垫 ②检查并紧固接头 ③检查修理螺塞

故障检查 问题8    电机的电流值异常
      原因：①泵内进入异物转子的负荷增加 ②转子、叶片的异常滑动
      处理方法：①修理，将泵内的异物去除 ②拆检、修理泵