製品情報

    VSN6501/VSN7501油回転真空ポンプ

      特長
      低振動
      ベーン型構造により、振動伝達の大きい低周波領域の振動を大幅に低減。
      内蔵式オイルミストトラップを設置。
      外付けオイルミストトラップの組み付け不必要。コンパクトな構造。
      優れた水分排出能力。
      直接ルーツポンプを搭載使用可能。接続が簡単。
      効果的な空気冷却可能。同時に水冷オプション。
      非開放式工場環境で、水冷を選択すると効果的な省エネが可能です。


      用途
      •  成膜、スパッタリング、イオンメッキ。
      •  ガス置換、充填、真空断熱。
      •  真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉。
      •  真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気。
      •  リークテスト装置、真空成型、真空鋳造。
      •  真空包装、真空吸着・搬送、その他。

性能諸元
寸法図
排気速度
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型式

VS650A-A

VS650A-W

VS750A-A

VS750A-W

排気速度 m3/h(L/min)

50Hz

650(10833)

750(12500)

60Hz

750(12500)

運転できません

到達圧力 *1 Pa

GP 閉

≤ 8

GP 1箇所 開

≤ 50

GP 2箇所 開

≤ 60

蒸気許容値 *2 Pa

GP
1箇所 開

50Hz

4500

2500

5500

2500

60Hz

5500

2500

運転できません

GP
2箇所 開

50Hz

6000

3800

7500

4000

60Hz

7500

4000

運転できません

水蒸気処理量 *2 kg/h

GP 1箇所 開

50Hz

17

11

24

13

60Hz

24

13

運転できません

GP 2箇所 開

50Hz

26

15

34

19

60Hz

34

19

運転できません

モータ *3

仕様

全閉外扇形 三相誘導電動機

出力kw(Poles)

22(4)

消費電力 kW *6

50Hz

200〜240/380〜415

60Hz

200〜240/380〜460

運転できません

使用油 *4

ULVOIL R-7

所要油量 L

23〜27

25〜30

23〜27

25〜30

冷却方式

空冷

水冷

空冷

水冷

冷却水

冷却水入口圧力 MPa

≥ 0.5

≥ 0.5

冷却水出入口差圧 MPa

≥ 0.1

≥ 0.1

冷却水量 L/min

≥ 3.0

≥ 3.0

冷却水温度 °C

5〜30

5〜30

吸気口

DN100 ISO-K

排気口

DN100 ISO-K

重量 kg

806

800

802

796

外形寸法 W×D×H mm

1490×905×705

1490×841×705

1490×905×705

1490×841×705

適合規格

CE/cTUVus

標準付属品

一次用油量、使用説明書(ポンプ、モータ)。

オプション

耐圧防爆型モータ、電圧指定モータ、吸気口JISフランジ、フィルター付き無しの主動ガスバラストバルブ2個、 電磁弁付きガスバラストバルブ1個、電磁弁付きガスバラストバルブ2個。


型式

VS650A-W

VS750A-W

GP 1箇所開

50Hz

3 L/min.

5 L/min.

60Hz

5 L/min.

GP 2箇所開

50Hz

3 L/min.

5 L/min.

60Hz

5 L/min.

注意:

* 1. 到達圧力は、ピラニ真空計による測定値です。
* 2 水蒸気許容値、及び水蒸気処理量は以下の冷却水条件に沿って測定を行う。なお、冷却水入口温度は26°Cです。
* 3 オプションにて、耐圧防爆型モータも対応できる。ただし、マルチ電圧は選定できません。
* 4 他の種類の油も用意している為、お問い合わせを大歓迎します。
* 5 吸排気口をJISフランジを採用した場合、配管取合の寸法が変化します。
* 6 到達圧力際の数値です。