製品情報

    Gatchシリーズ冷陰極電離真空計

      センサーユニットSC 1-N
      SC1-Nは冷陰極電離真空計です。ランプフィラメントを使用していない為、センサーのロスを心配する必要はありません。修理が簡単であり、コストが安い。また、構造設計は修理に便利であり、運行コストが低いです。

      特長
      • メーターを表示する必要はなく、PLC表示にアクセスできます。
      • 電源DC 24 Vを使用。
      • 簡単に修理できます。
      • アナログ信号出力とスイッチ信号(2点)出力が可能です。

      用途
      •  半導体、電子部品を含めた各種真空装置のプログラム制御に利用できます。
      •  真空炉をメインとした各種産業機器のプロセス管理に利用できます。
性能諸元
寸法図
排気速度
    サンプルダウンロード


* IO and analog GND are mot isolated from the power GND.