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组成

YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵通过安装支架、接管配上控制箱、消音器等组合而成,用于生产、研究设备的真空排气。


特长

● 无油、干燥、清洁
● 在低温领域的均热化
● 大抽速,可以缩短排气时间
● 优良的耐腐蚀性
● 低噪音、低震动


                                                      用途

                                                                    ◆ 冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、
                                                                    ◆ 单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。

 

※1 用皮拉尼真空计测定的值。

※2不作为推荐系列

※3 冷却水不得有结露。

※4 用调节阀所调整的压力表的值。

※5 氮气(密封气体)流量5L/min是固定值。

(由于规格众多,详细情况请向营业咨询)

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