YMシリーズルーツポンプ排気セット
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YM-RLシリーズのルーツポンプ排気セットは、多段ルーツ式ドライポンプとルーツポンプを架台へ装備し、接続配管、コントロールボックス、サイレンサー等を組み込んだ排気装置です。生産や研究設備で利用されている真空排気セットです。
用途
凍結乾燥、成膜、真空ろう付炉、真空焼結炉、単結晶炉、多結晶炉、プラズマエッチング、気体回収システム、その他
特長
1. 油使用なし、乾燥、清潔。
2. 低音領域で均熱化。
3. 排気速度が速い、排気時間短縮可能。
4. 優れた耐腐食性。
5. 低騒音、低振動。
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項目 \ 型式 |
YM-RL-301A |
YM-RL-601A |
YM-RL-1201A |
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YM-RL-302A |
YM-RL-602A |
YM-RL-1202A |
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排気速度 |
50Hz |
359(5980) |
653(10900) |
1012(16900) |
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m3/h(L/min) |
60Hz |
365(6080) |
701(11700) |
1051(17500) |
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到達圧力※1 Pa |
0.67 |
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ポンプ組み合わせ |
メカニカルブースタポンプ |
NB300A |
NB600A |
NB1200A |
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ドライ真空ポンプ |
NRL60A |
NRL90A |
（NRL90A）※2 |
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NRL90A |
NRL180A |
NRL180A |
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モータ(kW) |
メカニカルブースタポンプ |
0.75 |
2.2 |
3.7 |
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ドライ真空ポンプ |
2.2 |
3.7 |
3.7 |
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3.7 |
7.5 |
7.5 |
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使用油量（L） |
メカニカルブースタポンプ |
0.7 |
1.5 |
1.9 |
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BARRIERTA J100F |
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ドライ真空ポンプ |
0.8 |
1.3 |
1.3 |
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1.3 |
1.4 |
1.4 |
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BARRIERTA J100F |
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冷却水※3 |
冷却水入口圧力 |
0.1～0.3MPa |
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冷却水入口水圧差 |
0.1MPa |
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流量 |
5L/min |
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冷却水入口温度 |
10～30℃ |
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シールガス |
ガス入口圧力 |
0.1～0.5MPa |
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調整圧力※4 |
0.05～0.1（運転時）MPa |
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流量※5 |
5L/min |
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重量 |
205/265 |
295/375 |
325/405 |
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吸気口径 |
VG80 |
VG80 |
VG100 |
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排気口径 |
KF40 |
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オプション |
1）真空計/インバーター |
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* 1 ピラ二真空計による測定値です。
* 2 非推薦タイプ。
* 3 冷却水は結露なきこと。
* 4 レギュレタ設定値
* 5 窒素ガス（シールガス）流量5L/min は固定値です。
