产品展示
YM-RL系列罗茨泵机组
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组成
YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成,用于生产、研究设备的真空排气机组。
用途
冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
优点
• 无油、干燥、清洁。
• 在低温领域的均热化。
• 大抽速,可以缩短排气时间。
• 优良的耐腐蚀性。
• 低噪音、低震动。
* 1 用皮拉尼真空计测定的值。
* 2 不作为推荐系列。
* 3 冷却水不得有结露。
* 4 用调节阀所调整的压力表的值。
* 5 氮气(密封气体)流量5L/min是固定值。
YM-VD / VS系列罗茨泵机组
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组成
YM-VD / VS系列罗茨泵机组是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成,用于生产、研究设备的真空排气。
用途
• 蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等。
• 单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等。
• 真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等。
• 冰箱、家用空调、中央空调、节能灯、背光源、自动抽空线、排气设备等。
* 1 用皮拉尼真空计测定值。
* 2 标准电机为50Hz-380V/400V/415V、60Hz-380V/400V/440V或50Hz-200V、60Hz-200V/220V。
* 3 VDN301泵在50Hz使用时的电机为1.1kW;而60Hz使用场合,电机应配1.5kW。
* 4 各种泵油的性能是不同的,因此,为避免影响泵的性能,请使用本公司指定的真空泵油。
* 5 NB300B的吸入口在530Pa以上进行连续运行时,必须用水冷却(2L/min)。