製品情報

    Gatchシリーズピラニ真空計

      ディスプレイユニットISG 1-N
      本ディスプレイはシングルチャンネルディスプレイであり、対応する測定子との接続後、熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、ダイヤフラム真空計として使用することができます。測定ユニットと接続後、測定圧力の表示だけでなく、圧力出力点の設定もできます。様々な操作が簡単にでき、作業状況が明瞭に確認できます。ディスプレイユニットにより、遠隔操作の制御と測定が可能です。又、本ディスプレイユニットはCE、ROHS認証を獲得しています。

      用途
      •  For vacuum equipment requiring multiple setting points. •  For vacuum equipment requiring RS-485 communication.
      • 圧力表示を必要とする真空装置に使用できます。
      • 複数の設定点が必要な真空機器に使用できます。
      • RS-485通信が必要な真空装置に使用できます。

      特長
      • 大気圧から5x10-8Pa まで表示できます。
      • 3つの設定点から信号を出力。
      • 入力電圧:DC 24 V。
      • 0~10 V logリニア圧力出力。
      • RS-485通信ポートを備えています。
      • 直感的なLED表示。
      • 各種単位で表示可能。
      •  CE,RoHS認証を獲得済み。




      センサーユニットSW1-N1 / SW1-N2
      本真空計はピラニ真空計であり、測定可能な圧力範囲は大気圧から5x10-2Pa までであり、CE、RoHS認証を獲得済みです。

      用途
      • 半導体、電子部品を含めた各種製造装置の低真空領域のプロセス管理に利用できます。
      • 真空炉を含めた各種産業機器の低真空領域のプロセス管理に利用できます。
      • 連続性、多様性作業室の各種製造設備の低真空領域のプロセス管理に使用できます。
      • ソーラー、製冷、照明業界に使用できます。

      特長
      • 測定可能範囲が広い:大気圧から5x10-2Pa まで測定できます。
      • センサーとコントローラ部の一体化:省スペース、省エネルギー。
      • 入力電圧:DC 24 V。
      • 標準の0~10 Vリニア圧力出力は、直接PLC使用が可能。
      • LED故障表示付き。
      • センサーの交換が簡単であり、お客様ご自身でも交換できます。
      •  SW 1-N 1タイプは、2つの設定点信号出力があリます。
      •  SW 1-N 2タイプはRS-232 C、RS-485通信機能があります。
      • 金属ケーシングは放熱性が優れています。
      • 測定精度が±10%高いです。

性能諸元
寸法図
排気速度
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