特长

洁净的真空

腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。

能在高吸入压强下运作

选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运作。

用途

•  照明、电子、光学、半导体。

•  镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。

•  真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。

•  真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。

•  分析仪器、检漏设备、CO2激光设备。

特长

洁净的真空

腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。

特殊表面处理

•  主要部件表面进行硬质氧化处理，提高耐腐蚀性，同时减少泵体内部损伤。

•  此特性可选，标准品表面不处理。

配置变频器缩短排气时间

•  配置变频器后与粗抽泵同时启动，与标准泵相比有效缩短排气时间。

•  此配件可选，标准泵不配置。

用途

•  镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。

•  真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。

•  分析仪器、密封装置。

•  真空热处理炉、溶解炉。

•  其他各种真空装置。