特长

能对应全压强领域的连续运转

采用高吸气压强也能稳定运转的强制运转的供油方式和缸体的水冷方式。选用油雾过滤器、油回收装置、及耐热型密封件后，真空泵就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。

实现了低噪音

由于采用了极限压力时降低运转声音的结构，VSN1501、VSN2401的噪音能低于74dB（A）（到达极限压力时并带有油雾过滤器、在离泵1米处的测定值）。

实现了低震动

由于采用的旋片结构，能达到高速化（50Hz、1500r/min），大大降低了震动传导大的低频领域的震动。因此无须大规模的基础工程，也容易安置于工厂厂房的2楼、3楼。

优秀的维修性能

为方便日常保养工作，油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。

为延长油的补充期，采用了8～10.5L的可变油量。

用途

•  镀膜、溅射、离子镀。

•  气体置换、充填、真空隔热。

•  真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。

•  真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。

•  检漏装置、真空成形、真空铸造。

•  真空包装、真空吸附、搬送、其它。

特长

低振动

叶片型构造，大幅降低了振动传导较大的低频领域的振动。

内置式油雾过滤器

无需安装外置的油雾过滤装置，结构紧凑。

优秀的排水气能力

可直接搭载罗茨泵使用，连接简单方便。

有效的空气冷却，同时水冷可选

在非开放式厂房环境，选用水冷可有效节能。

用途

•  镀膜、溅射、离子镀。

•  气体置换、充填、真空隔热。

•  真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。

•  真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。

•  检漏装置、真空成形、真空铸造。

•  真空包装、真空吸附、搬送、其它。

VSN3001-W

VSN3001-W是单级油旋片式真空泵。在同类产品中占地面积最小，可直接搭载罗茨泵。另外，内置了油雾过滤器和回油装置，排气性能长期稳定。此外，设计上还考虑到了油和滤芯更换等维保的便性。

特点

同类产品中占地面积最小

874×404mm　设计紧凑。

可直搭载罗茨泵（MBP）

使用MBP安装组件可无需框架直接搭载MBP。

内置油雾过滤器

回油装置亦内置。

不易向外部漏油的构造

油封和轴封两级密封，防止向外部漏油。

用途

• 光学膜蒸镀设备• 反射器蒸镀设备• 装饰用蒸镀设备• 薄膜卷绕蒸镀设备• 内嵌溅射设备• 烘烤炉 /热处理炉• 冻干设备• 检漏设备