组成

YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。

用途

冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。

优点

•  无油、干燥、清洁。

•  在低温领域的均热化。

•  大抽速，可以缩短排气时间。

•  优良的耐腐蚀性。

•  低噪音、低震动。

组成

YM-VD / VS系列罗茨泵机组是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。

用途

•  蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等。

•  单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等。

•  真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等。

•  冰箱、家用空调、中央空调、节能灯、背光源、自动抽空线、排气设备等。