VSN3001 油旋片式真空泵

VSN3001-W
VSN3001-W是单级油旋片式真空泵。在同类产品中占地面积最小，可直接搭载罗茨泵。另外，内置了油雾过滤器和回油装置，排气性能长期稳定。此外，设计上还考虑到了油和滤芯更换等维保的便性。

特点
同类产品中占地面积最小
874×404mm　设计紧凑。

可直搭载罗茨泵（MBP）
使用MBP安装组件可无需框架直接搭载MBP。

内置油雾过滤器
回油装置亦内置。

不易向外部漏油的构造
油封和轴封两级密封，防止向外部漏油。


用途

• 光学膜蒸镀设备
• 反射器蒸镀设备
• 装饰用蒸镀设备
• 薄膜卷绕蒸镀设备
• 内嵌溅射设备
• 烘烤炉 /热处理炉
• 冻干设备
• 检漏设备