NRL60A / NRL90A / NRL180A シリーズドライポンプ
-
特長
・NRLシリーズは低温領域においては均熱化であります。
PVDプロセス以外、特に排気速度の向上、及び排気時間短縮が必要である重要プロセスにおけるチャンバーの排気に最適です。
・低騒音、低振動。
・優れた耐腐食性。
標準部品には、高硬度で耐腐食性に優れた特殊表面処理を標準採用。腐食性ガス排気際のポンプ内部の腐食を低減。
・オプション
サイレンサー、冷却水流量スイッチ、窒素流量スイッチ、ポンプ温度センサー
用途
・活性ガス（CVD、エッチング等）。
・不活性ガス排気（スパッタリング、成膜、熱処理、液晶注入等）。
・粉体の発生するプロセスでの排気（Si単結晶引き上げ等）。
・補助排気ポンプとして（ターボ分子ポンプ、メカニカルルーツポンプの補助排気）。
・水蒸気排出（凍結乾燥等）。
| 項目 \ 型式 |
NRL60A |
NRL90A |
NRL180A |
|||
|
排気速度 |
50Hz |
70(1167) |
116（1933） |
200（3333） |
||
|
60Hz |
84(1400) |
140（2333） |
240（4000） |
|||
|
最大吸入圧(Pa) |
1 Atm |
|||||
|
到達圧力*1(Pa) |
5 |
|||||
|
最大排気圧力 |
1 Pa～1 Atm |
|||||
|
モータ Kw(極数) |
2.2（2） |
3.7（2） |
7.5（2） |
|||
|
使用油 |
BARRIERTA J100（E） FLUID |
|||||
|
所要油量 |
大気側(L) |
0.5 |
0.7 |
0.6 |
||
|
真空側(L) |
0.3 |
0.6 |
0.8 |
|||
|
冷 |
冷却入口圧力(MPa) |
0.1～0.3 |
||||
|
冷却水出入り口差圧(MPa) |
0.1 |
|||||
|
流量(L/min) |
5 |
|||||
|
入口温度*2(℃) |
10～30 |
|||||
|
窒素 |
ガス入口圧力(MPa) |
0.1～0.5 |
||||
|
調整圧力*3 (MPa) |
0.05～0.1(運転時) |
|||||
|
流量(SLM) |
5*4 |
|||||
|
重量(kg) |
128 |
188 |
268 |
|||
|
吸気口径 |
VG50 |
VG80 |
VG80 |
|||
|
排気口径 |
NW40 |
|||||
* 1 到達圧力は窒素（シールガス）が5.0 SLMの際、ピラニ真空計による測定値です。
* 2 結露なきこと。
* 3 レギュレータで調整した圧力計の値です。
* 4 窒素（シールガス）流量5.0 SLMは固定値です。
