VSN1501 / VSN2401油回転真空ポンプ
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特長
全圧強（pressure）（又はPa）領域での連続運転に対応できます。
高吸気強圧（pressure）でも安定して運転できる強制運転の給油方式とシリンダーの水冷方式を採用。オプションのオイルミストトラップ、オイル戻し装置、耐熱仕様のシールを選択することにより、真空ポンプは大気圧以下の全強圧（pressure）の範囲で連続運転が可能です。
低騒音を実現
到達圧力際の運転音を低減する構造をを採用した為、VSN1501、VSN2401の騒音が74Db(A)より低いという低騒音化を達成しました(到達圧力際、オイルミストトラップ有、ポンプから1ｍ間隔距離での測定値)。
低振動を実現
ベーン型構造により高速化(50Hz、1500r/min)を達成し、振動伝達の大きい低周波領域の振動を大幅に低減しました。大規模な基礎工事が不要になり、工場建屋内の2階、3階への設置が容易になります。
優れたメンテナンス性
メンテナンス作業を容易にする為、,油量確認, 油補給, 油交換のポンプの箇所は統一して、同一操作箇所としています。
油の補給期間を延長する為、,8 ~ 10.5Lの可変油量を採用しています。
用途
成膜、スパッタリング、イオンプレーティング。
ガス置換、充填、真空断熱。
真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉。
真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気。
リークテスト装置、真空成型、真空鋳造。
真空包装、真空吸着・搬送、その他。
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項目 \ 型式 |
VSN1501 |
VSN2401 |
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排気速度 |
50 Hz |
150（2500） |
240（4000） |
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60 Hz |
180（3000） |
288（4800） |
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到達圧力*1 Pa |
G.V.Closed *2 |
5.3 |
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G.V.Open *2 |
67 |
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モータ |
kW（極数） |
5.5（4） |
7.5（4） |
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Hz- V |
50-380/400/415、60-380/400/440 |
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回転速度 r/min |
50 Hz |
1500 |
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60 Hz |
1800 |
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使用油 |
ULVOIL R-7 |
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所要油量 L |
Minimum |
8.0 |
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Maximum |
10.5 |
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冷却水流量 |
L/min |
4 |
5 |
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冷却水圧 |
MPa |
≤0.3(gauge pressure) |
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冷却水差圧 |
MPa |
0.1 |
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冷却水入口温度 |
℃ |
5 ～ 30 |
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重量 |
kg |
231 |
267 |
* 1. 用皮拉尼真空计测得的值 ⇒*1. 到達圧力は、ピラニ真空計による測定値です。
* 2.G.V: ガスバラストバルブの略称です。
VSN6501/VSN7501油回転真空ポンプ
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特長
低振動
ベーン型構造により、振動伝達の大きい低周波領域の振動を大幅に低減。
内蔵式オイルミストトラップを設置。
外付けオイルミストトラップの組み付け不必要。コンパクトな構造。
優れた水分排出能力。
直接ルーツポンプを搭載使用可能。接続が簡単。
効果的な空気冷却可能。同時に水冷オプション。
非開放式工場環境で、水冷を選択すると効果的な省エネが可能です。
用途
• 成膜、スパッタリング、イオンメッキ。
• ガス置換、充填、真空断熱。
• 真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉。
• 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気。
• リークテスト装置、真空成型、真空鋳造。
• 真空包装、真空吸着・搬送、その他。
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型式 |
VS650A-A |
VS650A-W |
VS750A-A |
VS750A-W |
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排気速度 m3/h（L/min） |
50Hz |
650（10833） |
750（12500） |
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60Hz |
750（12500） |
運転できません |
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到達圧力 *1 Pa |
GP 閉 |
≤ 8 |
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GP 1箇所 開 |
≤ 50 |
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GP 2箇所 開 |
≤ 60 |
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蒸気許容値 *2 Pa |
GP |
50Hz |
4500 |
2500 |
5500 |
2500 |
|
60Hz |
5500 |
2500 |
運転できません |
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|
GP |
50Hz |
6000 |
3800 |
7500 |
4000 |
|
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60Hz |
7500 |
4000 |
運転できません |
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水蒸気処理量 *2 kg/h |
GP 1箇所 開 |
50Hz |
17 |
11 |
24 |
13 |
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60Hz |
24 |
13 |
運転できません |
|||
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GP 2箇所 開 |
50Hz |
26 |
15 |
34 |
19 |
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60Hz |
34 |
19 |
運転できません |
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モータ *3 |
仕様 |
全閉外扇形 三相誘導電動機 |
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出力kw（Poles） |
22（4） |
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消費電力 kW *6 |
50Hz |
200〜240/380〜415 |
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60Hz |
200〜240/380〜460 |
運転できません |
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使用油 *4 |
ULVOIL R-7 |
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所要油量 L |
23〜27 |
25〜30 |
23〜27 |
25〜30 |
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冷却方式 |
空冷 |
水冷 |
空冷 |
水冷 |
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冷却水 |
冷却水入口圧力 MPa |
－ |
≥ 0.5 |
－ |
≥ 0.5 |
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冷却水出入口差圧 MPa |
－ |
≥ 0.1 |
－ |
≥ 0.1 |
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冷却水量 L/min |
－ |
≥ 3.0 |
－ |
≥ 3.0 |
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冷却水温度 °C |
－ |
5〜30 |
－ |
5〜30 |
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吸気口 |
DN100 ISO-K |
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排気口 |
DN100 ISO-K |
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重量 kg |
806 |
800 |
802 |
796 |
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外形寸法 W×D×H mm |
1490×905×705 |
1490×841×705 |
1490×905×705 |
1490×841×705 |
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適合規格 |
CE/cTUVus |
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標準付属品 |
一次用油量、使用説明書（ポンプ、モータ）。 |
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オプション |
耐圧防爆型モータ、電圧指定モータ、吸気口JISフランジ、フィルター付き無しの主動ガスバラストバルブ2個、 電磁弁付きガスバラストバルブ1個、電磁弁付きガスバラストバルブ2個。 |
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型式 |
VS650A-W |
VS750A-W |
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GP 1箇所開 |
50Hz |
3 L/min. |
5 L/min. |
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60Hz |
5 L/min. |
－ |
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GP 2箇所開 |
50Hz |
3 L/min. |
5 L/min. |
|
60Hz |
5 L/min. |
－ |
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注意：
* 1. 到達圧力は、ピラニ真空計による測定値です。
* 2 水蒸気許容値、及び水蒸気処理量は以下の冷却水条件に沿って測定を行う。なお、冷却水入口温度は26°Cです。
* 3 オプションにて、耐圧防爆型モータも対応できる。ただし、マルチ電圧は選定できません。
* 4 他の種類の油も用意している為、お問い合わせを大歓迎します。
* 5 吸排気口をJISフランジを採用した場合、配管取合の寸法が変化します。
* 6 到達圧力際の数値です。
