NBシリーズルーツポンプ
特長
クリーンな真空
チャンバー内には潤滑油がない為、水蒸気、溶剤等の気体に対して、安定した排気性能で対応できます。
高吸入強圧でも安定した運転ができます。
標準モータより大容量モータを採用することにより、高吸入強圧領域での運転が可能です。
用途
• 照明、電子、光学、半導体。
• 成膜、スパッタリング、イオンメッキ、液晶注入。
• 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気。
• 真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉。
• 分析機器、リークテスト装置、CO2レーザー設備。
| 型 式 | NB100B | NB300B | NB600B | NB1200B | ||
排気速度*2 | 50Hz | 95(1580) | 280(4670) | 500(8330) | 1000(16667) | |
60Hz | 115(1920) | 330(5500) | 600(10000) | 1200(20000) | ||
最大許容圧力*2 | 50Hz | 1.3×103 | 1.2×103 | 1.3×103 | ||
60Hz | 9.3×102 | 1.1×103 | ||||
最大許容圧力差*2 Pa | 50Hz | 8.0×103 | 4.0×103 | 7.3×103 | ||
60Hz | 6.7×103 | 3.3×103 | 6.0×103 | |||
到達圧力 Pa *1 | 4.0×10-1 | 6.7×10-1 | ||||
標準粗引きポンプ | VDN301 |
VDN401 |
VSN1501 |
VSN1501 | ||
モーター(2極) kW | 0.4 | 0.75 | 2.2 | 3.7 | ||
使用油 | ULVOIL R-4 | |||||
所要 L | 0.35 | 0.70 | 1.50 | 1.90 | ||
冷 | 流量 L/min | 空冷 | 2.0*3 | 2.0 | 3.0 | |
冷却水入口出口水圧差 MPa | 0.1 | |||||
水温 ℃ | 5～30*4 | |||||
重量 kg | 26 | 51 | 82.5 | 111 | ||
吸気口径(JIS B 2290) | VG50相当 | VG80相当 | VG80相当 | VG100相当 | ||
排気口径(JIS B 2290) | VF50相当 | VF80相当 | VF80相当 | VF80相当 | ||
* 1 ピラニ真空計による測定値である。 マクラウド真空計による測定の場合、4.0×10-2Pa になる。 NB1200Bの場合、6.7×10-2Pa になります。
* 2 粗引きポンプの性能によって変わる。 上表のデータは標準粗引きポンプと組み合わせて使用する際の数値となります。
* 3 530Pa以下は、空冷を使用することが可能。 530Pa以上での連続運転の場合、必ず水冷を使用する必要があります。
* 4 冷却水入口の水温は必ず5～30℃になるようにすること。 冷却水の温度が低すぎの場合、ポンプ使用環境は結露しない環境で使用すべきです。
NB2400B ルーツ式真空ポンプ
特長
クリーンな真空
チャンバー内には潤滑油がない為、水蒸気、溶剤等の気体に対して、安定した排気性能で対応できます。
特殊表面処理
• 主要部品表面は硬質酸化処理を行い、耐腐食性を高め、ポンプ内部の損傷を減少させます。
• この特性はオプションで、標準品の表面は処理できません。
インバーター配置により、排気時間を短縮。
• インバーターを配置後、粗引きポンプと共に同時に起動させることにより、標準ポンプより排気時間を有効的に短縮。
• オプション可能。標準ポンプには配置不可能。
用途
• 成膜、スパッタリング、イオンメッキ、液晶注入。
• 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気。
• 分析機器、密封装置。
• 真空熱処理炉、溶解炉。
• その他各種真空装置
| 型 式 |
NB2400B | ||
排気速度*2 | 50Hz | 2000(33330) | |
60Hz | 2400(40000) | ||
最大吸入圧力*2 | 50Hz | 8.0×102 | |
60Hz | 6.7×102 | ||
最大許容圧力差*2 Pa | 50Hz | 5.6×103 | |
60Hz | 4.7×103 | ||
到達圧力 Pa *1 | 6.5×10-1 | ||
標準粗引きポンプ | VSN6501/VSN7501 | ||
モーター(2極) kW | 7.5 | ||
潤滑油仕様 | ULVOIL R-4 | ||
所要油量 L | 4.0 | ||
冷 | 冷却水量 L/min | 3.0 | |
冷却水出入り口水圧差 MPa | 0.05 | ||
冷却水温度 ℃*3 | 5～30 | ||
重量 kg | 255 | ||
吸気口径(JIS B 2290) | VG200相当 | ||
排気口径(JIS B 2290) | VF200相当 | ||
*1 ピラニ真空計による測定値である。 マクラウド真空計による測定の場合、6.5×10-2Pa になります。
*2 粗引きポンプの性能によって変わる。 上表のデータは標準粗引きポンプと組み合わせて使用する際の数値となります。
*3 冷却水入口の水温を必ず5～30℃になるようにする必要があります。 冷却水温度が低すぎの場合、ポンプ使用は結露しない環境で使用すべきです。
