VSN1501 / VSN2401油回転真空ポンプ
特長
全圧強（pressure）（又はPa）領域での連続運転に対応できます。
高吸気強圧（pressure）でも安定して運転できる強制運転の給油方式とシリンダーの水冷方式を採用。オプションのオイルミストトラップ、オイル戻し装置、耐熱仕様のシールを選択することにより、真空ポンプは大気圧以下の全強圧（pressure）の範囲で連続運転が可能です。
低騒音を実現
到達圧力際の運転音を低減する構造をを採用した為、VSN1501、VSN2401の騒音が74Db(A)より低いという低騒音化を達成しました(到達圧力際、オイルミストトラップ有、ポンプから1ｍ間隔距離での測定値)。
低振動を実現
ベーン型構造により高速化(50Hz、1500r/min)を達成し、振動伝達の大きい低周波領域の振動を大幅に低減しました。大規模な基礎工事が不要になり、工場建屋内の2階、3階への設置が容易になります。
優れたメンテナンス性
メンテナンス作業を容易にする為、,油量確認, 油補給, 油交換のポンプの箇所は統一して、同一操作箇所としています。
油の補給期間を延長する為、,8 ~ 10.5Lの可変油量を採用しています。
用途
成膜、スパッタリング、イオンプレーティング。
ガス置換、充填、真空断熱。
真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉。
真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気。
リークテスト装置、真空成型、真空鋳造。
真空包装、真空吸着・搬送、その他。
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項目 \ 型式 | VSN1501 | VSN2401 | |
排気速度 | 50 Hz | 150（2500） | 240（4000） |
60 Hz | 180（3000） | 288（4800） | |
到達圧力*1 Pa | G.V.Closed *2 | 5.3 | |
G.V.Open *2 | 67 | ||
モータ | kW（極数） | 5.5（4） | 7.5（4） |
Hz- V | 50-380/400/415、60-380/400/440 | ||
回転速度 r/min | 50 Hz | 1500 | |
60 Hz | 1800 | ||
使用油 | ULVOIL R-7 | ||
所要油量 L | Minimum | 8.0 | |
Maximum | 10.5 | ||
冷却水流量 | L/min | 4 | 5 |
冷却水圧 | MPa | ≤0.3(gauge pressure) | |
冷却水差圧 | MPa | 0.1 | |
冷却水入口温度 | ℃ | 5 ～ 30 | |
重量 | kg | 231 | 267 |
* 1. 用皮拉尼真空计测得的值 ⇒*1. 到達圧力は、ピラニ真空計による測定値です。
* 2.G.V: ガスバラストバルブの略称です。
VSN6501/VSN7501油回転真空ポンプ
特長
低振動
ベーン型構造により、振動伝達の大きい低周波領域の振動を大幅に低減。
内蔵式オイルミストトラップを設置。
外付けオイルミストトラップの組み付け不必要。コンパクトな構造。
優れた水分排出能力。
直接ルーツポンプを搭載使用可能。接続が簡単。
効果的な空気冷却可能。同時に水冷オプション。
非開放式工場環境で、水冷を選択すると効果的な省エネが可能です。
用途
• 成膜、スパッタリング、イオンメッキ。
• ガス置換、充填、真空断熱。
• 真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉。
• 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気。
• リークテスト装置、真空成型、真空鋳造。
• 真空包装、真空吸着・搬送、その他。
型式 | VS650A-A | VS650A-W | VS750A-A | VS750A-W | ||
排気速度 m3/h（L/min） | 50Hz | 650（10833） | 750（12500） | |||
60Hz | 750（12500） | 運転できません | ||||
到達圧力 *1 Pa | GP 閉 | ≤ 8 | ||||
GP 1箇所 開 | ≤ 50 | |||||
GP 2箇所 開 | ≤ 60 | |||||
蒸気許容値 *2 Pa |
GP | 50Hz | 4500 | 2500 | 5500 | 2500 |
60Hz | 5500 | 2500 | 運転できません | |||
GP | 50Hz | 6000 | 3800 | 7500 | 4000 | |
60Hz | 7500 | 4000 | 運転できません | |||
水蒸気処理量 *2 kg/h | GP 1箇所 開 | 50Hz | 17 | 11 | 24 | 13 |
60Hz | 24 | 13 | 運転できません | |||
GP 2箇所 開 | 50Hz | 26 | 15 | 34 | 19 | |
60Hz | 34 | 19 | 運転できません | |||
モータ *3 | 仕様 | 全閉外扇形 三相誘導電動機 | ||||
出力kw（Poles） | 22（4） | |||||
消費電力 kW *6 | 50Hz | 200〜240/380〜415 | ||||
60Hz | 200〜240/380〜460 | 運転できません | ||||
使用油 *4 | ULVOIL R-7 | |||||
所要油量 L | 23〜27 | 25〜30 | 23〜27 | 25〜30 | ||
冷却方式 | 空冷 | 水冷 | 空冷 | 水冷 | ||
冷却水 | 冷却水入口圧力 MPa | － | ≥ 0.5 | － | ≥ 0.5 | |
冷却水出入口差圧 MPa | － | ≥ 0.1 | － | ≥ 0.1 | ||
冷却水量 L/min | － | ≥ 3.0 | － | ≥ 3.0 | ||
冷却水温度 °C | － | 5〜30 | － | 5〜30 | ||
吸気口 | DN100 ISO-K | |||||
排気口 | DN100 ISO-K | |||||
重量 kg | 806 | 800 | 802 | 796 | ||
外形寸法 W×D×H mm | 1490×905×705 | 1490×841×705 | 1490×905×705 | 1490×841×705 | ||
適合規格 | CE/cTUVus | |||||
標準付属品 | 一次用油量、使用説明書（ポンプ、モータ）。 | |||||
オプション | 耐圧防爆型モータ、電圧指定モータ、吸気口JISフランジ、フィルター付き無しの主動ガスバラストバルブ2個、 電磁弁付きガスバラストバルブ1個、電磁弁付きガスバラストバルブ2個。 | |||||
型式 | VS650A-W | VS750A-W | |
GP 1箇所開 | 50Hz | 3 L/min. | 5 L/min. |
60Hz | 5 L/min. | － | |
GP 2箇所開 | 50Hz | 3 L/min. | 5 L/min. |
60Hz | 5 L/min. | － | |
注意：
* 1. 到達圧力は、ピラニ真空計による測定値です。
* 2 水蒸気許容値、及び水蒸気処理量は以下の冷却水条件に沿って測定を行う。なお、冷却水入口温度は26°Cです。
* 3 オプションにて、耐圧防爆型モータも対応できる。ただし、マルチ電圧は選定できません。
* 4 他の種類の油も用意している為、お問い合わせを大歓迎します。
* 5 吸排気口をJISフランジを採用した場合、配管取合の寸法が変化します。
* 6 到達圧力際の数値です。
