YMシリーズルーツポンプ排気セット
YM-RLシリーズのルーツポンプ排気セットは、多段ルーツ式ドライポンプとルーツポンプを架台へ装備し、接続配管、コントロールボックス、サイレンサー等を組み込んだ排気装置です。生産や研究設備で利用されている真空排気セットです。
用途
凍結乾燥、成膜、真空ろう付炉、真空焼結炉、単結晶炉、多結晶炉、プラズマエッチング、気体回収システム、その他
特長
1. 油使用なし、乾燥、清潔。
2. 低音領域で均熱化。
3. 排気速度が速い、排気時間短縮可能。
4. 優れた耐腐食性。
5. 低騒音、低振動。
項目 \ 型式 | YM-RL-301A | YM-RL-601A | YM-RL-1201A | |
YM-RL-302A | YM-RL-602A | YM-RL-1202A | ||
排気速度 | 50Hz | 359(5980) | 653(10900) | 1012(16900) |
m3/h(L/min) | 60Hz | 365(6080) | 701(11700) | 1051(17500) |
到達圧力※1 Pa | 0.67 | |||
ポンプ組み合わせ | メカニカルブースタポンプ | NB300A | NB600A | NB1200A |
ドライ真空ポンプ | NRL60A | NRL90A | （NRL90A）※2 | |
NRL90A | NRL180A | NRL180A | ||
モータ(kW) | メカニカルブースタポンプ | 0.75 | 2.2 | 3.7 |
ドライ真空ポンプ | 2.2 | 3.7 | 3.7 | |
3.7 | 7.5 | 7.5 | ||
使用油量（L） | メカニカルブースタポンプ | 0.7 | 1.5 | 1.9 |
BARRIERTA J100F | ||||
ドライ真空ポンプ | 0.8 | 1.3 | 1.3 | |
1.3 | 1.4 | 1.4 | ||
BARRIERTA J100F | ||||
冷却水※3 | 冷却水入口圧力 | 0.1～0.3MPa | ||
冷却水入口水圧差 | 0.1MPa | |||
流量 | 5L/min | |||
冷却水入口温度 | 10～30℃ | |||
シールガス | ガス入口圧力 | 0.1～0.5MPa | ||
調整圧力※4 | 0.05～0.1（運転時）MPa | |||
流量※5 | 5L/min | |||
重量 | 205/265 | 295/375 | 325/405 | |
吸気口径 | VG80 | VG80 | VG100 | |
排気口径 | KF40 | |||
オプション |
1）真空計/インバーター | |||
* 1 ピラ二真空計による測定値です。
* 2 非推薦タイプ。
* 3 冷却水は結露なきこと。
* 4 レギュレタ設定値
* 5 窒素ガス（シールガス）流量5L/min は固定値です。
YM-VD/VSシリーズ排気ユニット
ポンプ組み合わせ
YM-VD / VSシリーズルーツポンプ排気セットは、油回転真空ポンプ、ルーツポンプを架台へ装備し、接続配管、コントロールボックス、オイルトラップ等を組み込んだ排気装置です。 生産や研究設備真空排気に最適です。
用途
• 蒸発成膜、スパッタ成膜、イオンメッキ、光学成膜等。
• 単結晶炉、多結晶炉、真空熱処理炉、焼結炉、焼鈍炉、焼入れ炉等。
• 真空乾燥、凍結乾燥、リークテスト設備及びシステム、ガス回収システム、液晶注入等。
• 冷蔵庫、家庭用エアコン、セントラルエアコン、省エネーランプ、バックライト、自動タップ，排気設備等。
項目 \ 型式 | YM-VD-101A | YM-VD-301A | YM-VD-601A | YM-VS-601A | YM-VS-1201A | ||||
YM-VD-302A | |||||||||
YM-VD-303A | |||||||||
50Hz | 95(1580) | 250(4100) | 550(9200) | 850(14200) | |||||
排気速度 | 1000(16700) | ||||||||
m3/h(L/min) | 60Hz | 115(1900) | 290(4800) | 660(11000) | 1000(16700) | ||||
1200(20000) | |||||||||
到達圧力※1 Pa | 4.0×10-1 | 6.7×10-1 | |||||||
セット | メカニカルブースタポンプ | NB100A | NB300A | NB600A | NB1200A | ||||
油回転ポンプ |
VDN301 | VDN401 |
VDN601 | VSN1501 |
VSN1501 | ||||
VDN601 | |||||||||
VDN901 | |||||||||
モータ※2(kW) |
メカニカルブースタポンプ | 0.4 | 0.75 | 2.2 | 3.7 | ||||
1.1※3 | 1.5 |
2.2 | 5.5 |
5.5 | |||||
油回転真空ポンプ | 2.2 | ||||||||
(4極) | 3.7 | ||||||||
使用油量※4(L) | 油回転ポンプ | 0.35 | 0.7 | 1.5 | 1.9 | ||||
ルーツポンプ標準油 | ULVOIL R-4 | ||||||||
油回転ポンプ標準油 | 1.0～2.5 | 1.0～2.5(VDN401) | 2.5～4 | 8.0～10.5 | 8.0～10.5 | ||||
2.5～4(ほか) | |||||||||
ULVOIL R-7 | |||||||||
冷 | 冷却方式 | ルーツポンプ | 空冷 | 水冷※5 | |||||
油ベーン回転ポンプ | 空冷 | 水冷 | |||||||
水圧／出入り口水圧差 | - | ≤0.3MPa(ゲージ圧)/0.1MPa | |||||||
冷却水温度℃ | - | 5～30 | |||||||
水量(出口)L/min | - | 2※5 | 4 | 5 | |||||
吸気口径(JIS B2290) | VG50 | VG80 | VG80 | VG100 | |||||
排気口径(JIS B2290) | VG40 | VG40 | VG40 | VG50 | VG50 | ||||
オプション | ①真空計Vacuum gauge /コンバーターinverter，②真空破壊バルブVacuum release，③オイルミストトラップoil mist trap ，④冷却水流量ON/OFFスイッチ Cooling water flow switch ，⑤電器制御ボックス control panel 。 | ||||||||
* 1：到達圧力は、ピラ二真空計による測定値です。
* 2：標準モータは、50Hz-380V/400V/415V、60Hz-380V/400V/440V、50Hz-200V、60Hz-200V/220Vです。
* 3：VDN301の場合、50Hz-1.1kW、60Hz-1.5kWのは標準です。
* 4：ポンプ油の特性により、ポンプ性能が異なる。ポンプ性能への影響が出ないように弊社のご指定のポンプ油を使用すること。
* 5：NB300Aが吸入圧530Pa以下で連続運転の場合、空冷でも対応できます。
