NRL60A / NRL90A / NRL180A シリーズドライポンプ
特長
・NRLシリーズは低温領域においては均熱化であります。
PVDプロセス以外、特に排気速度の向上、及び排気時間短縮が必要である重要プロセスにおけるチャンバーの排気に最適です。
・低騒音、低振動。
・優れた耐腐食性。
標準部品には、高硬度で耐腐食性に優れた特殊表面処理を標準採用。腐食性ガス排気際のポンプ内部の腐食を低減。
・オプション
サイレンサー、冷却水流量スイッチ、窒素流量スイッチ、ポンプ温度センサー
用途
・活性ガス（CVD、エッチング等）。
・不活性ガス排気（スパッタリング、成膜、熱処理、液晶注入等）。
・粉体の発生するプロセスでの排気（Si単結晶引き上げ等）。
・補助排気ポンプとして（ターボ分子ポンプ、メカニカルルーツポンプの補助排気）。
・水蒸気排出（凍結乾燥等）。
| 項目 \ 型式 | NRL60A | NRL90A | NRL180A | |||
排気速度 | 50Hz | 70(1167) | 116（1933） | 200（3333） | ||
60Hz | 84(1400) | 140（2333） | 240（4000） | |||
最大吸入圧(Pa) | 1 Atm | |||||
到達圧力*1(Pa) | 5 | |||||
最大排気圧力 | 1 Pa～1 Atm | |||||
モータ Kw(極数) | 2.2（2） | 3.7（2） | 7.5（2） | |||
使用油 |
BARRIERTA J100（E） FLUID | |||||
所要油量 | 大気側(L) | 0.5 | 0.7 | 0.6 | ||
真空側(L) | 0.3 | 0.6 | 0.8 | |||
冷 | 冷却入口圧力(MPa) | 0.1～0.3 | ||||
冷却水出入り口差圧(MPa) | 0.1 | |||||
流量(L/min) | 5 | |||||
入口温度*2(℃) | 10～30 | |||||
窒素 | ガス入口圧力(MPa) | 0.1～0.5 | ||||
調整圧力*3 (MPa) | 0.05～0.1(運転時) | |||||
流量(SLM) | 5*4 | |||||
重量(kg) | 128 | 188 | 268 | |||
吸気口径 | VG50 | VG80 | VG80 | |||
排気口径 | NW40 | |||||
* 1 到達圧力は窒素（シールガス）が5.0 SLMの際、ピラニ真空計による測定値です。
* 2 結露なきこと。
* 3 レギュレータで調整した圧力計の値です。
* 4 窒素（シールガス）流量5.0 SLMは固定値です。
