特長
・低騒音を実現。
徹底した低騒音設計と精密加工により、低騒音化を達成。

・メンテナンス性が優れている。
真空ポンプと他の設備を連結している真空配管を外さずにポンプの本体部分が脱着できる為、オーバーホール、洗浄補修、オイルシール交換等が容易にできます。
日常メンテナンス作業をさらに操作しやすくする為、油確認、油補充、油交換作業を行うポンプの関連箇所を統一しています。
使用油の補給期間を延長する為、1.0～2.5Lの可変油量方式を採用しています。

・全強圧（pressure）（又はPa）領域の連続運転に対応できます。

高吸気強圧でも安定して運転できる強制給油方式を採用している。オイルミストフィルター、オイル回収装置、耐熱シールを選択すると、大気圧以下の全強圧範囲で連続運転が可能である。

用途
•  成膜、スパッタリング、イオンメッキ
•  ガス置換、充填、真空断熱
•  真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
•  分析機器、リークテスト装置
•  真空包装、真空吸着
•  搬送、真空成型、真空鋳造その他

特長
・低騒音を実現。
徹底した低騒音設計と精密加工により、低騒音化を達成。

・メンテナンス性が優れている。
日常メンテナンス作業をさらに操作しやすくする為、油確認、油補充、油交換作業を行うポンプの関連箇所を統一しています。
使用油の補給期間を延長する為、2.5～4.0Lの可変油量方式を採用しています。

・全強圧（pressure）（又はPa）領域の連続運転に対応できる。
高吸気強圧でも安定して運転できる強制給油方式を採用しています。オイルミストフィルター、オイル回収装置、耐熱シールを選択することによって、大気圧以下の全強圧範囲で連続運転が可能です。

CE認定を獲得。

用途
•  成膜、スパッタリング、イオンメッキ。
•  ガス置換、充填、真空断熱。
•  真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
•  分析機器、リークテスト装置
•  真空包装、真空吸着
•  搬送、真空成型、真空鋳造その他。