YM-VD/VSシリーズ排気ユニット
-
ポンプ組み合わせ
YM-VD / VSシリーズルーツポンプ排気セットは、油回転真空ポンプ、ルーツポンプを架台へ装備し、接続配管、コントロールボックス、オイルトラップ等を組み込んだ排気装置です。 生産や研究設備真空排気に最適です。
用途
• 蒸発成膜、スパッタ成膜、イオンメッキ、光学成膜等。
• 単結晶炉、多結晶炉、真空熱処理炉、焼結炉、焼鈍炉、焼入れ炉等。
• 真空乾燥、凍結乾燥、リークテスト設備及びシステム、ガス回収システム、液晶注入等。
• 冷蔵庫、家庭用エアコン、セントラルエアコン、省エネーランプ、バックライト、自動タップ，排気設備等。
|
項目 \ 型式 |
YM-VD-101A |
YM-VD-301A |
YM-VD-601A |
YM-VS-601A |
YM-VS-1201A |
||||
|
YM-VD-302A |
|||||||||
|
YM-VD-303A |
|||||||||
|
|
50Hz |
95(1580) |
250(4100) |
550(9200) |
850(14200) |
||||
|
排気速度 |
1000(16700) |
||||||||
|
m3/h(L/min) |
60Hz |
115(1900) |
290(4800) |
660(11000) |
1000(16700) |
||||
|
|
1200(20000) |
||||||||
|
到達圧力※1 Pa |
4.0×10-1 |
6.7×10-1 |
|||||||
|
セット |
メカニカルブースタポンプ |
NB100A |
NB300A |
NB600A |
NB1200A |
||||
|
油回転ポンプ |
VDN301 |
VDN401 |
VDN601 |
VSN1501 |
VSN1501 |
||||
|
VDN601 |
|||||||||
|
VDN901 |
|||||||||
|
モータ※2(kW) |
メカニカルブースタポンプ |
0.4 |
0.75 |
2.2 |
3.7 |
||||
|
|
1.1※3 |
1.5 |
2.2 |
5.5 |
5.5 |
||||
|
油回転真空ポンプ |
2.2 |
||||||||
|
(4極) |
3.7 |
||||||||
|
使用油量※4(L) |
油回転ポンプ |
0.35 |
0.7 |
1.5 |
1.9 |
||||
|
ルーツポンプ標準油 |
ULVOIL R-4 |
||||||||
|
油回転ポンプ標準油 |
1.0～2.5 |
1.0～2.5(VDN401) |
2.5～4 |
8.0～10.5 |
8.0～10.5 |
||||
|
2.5～4(ほか) |
|||||||||
|
ULVOIL R-7 |
|||||||||
|
冷 |
冷却方式 |
ルーツポンプ |
空冷 |
水冷※5 |
|||||
|
油ベーン回転ポンプ |
空冷 |
水冷 |
|||||||
|
水圧／出入り口水圧差 |
- |
≤0.3MPa(ゲージ圧)/0.1MPa |
|||||||
|
冷却水温度℃ |
- |
5～30 |
|||||||
|
水量(出口)L/min |
- |
2※5 |
4 |
5 |
|||||
|
吸気口径(JIS B2290) |
VG50 |
VG80 |
VG80 |
VG100 |
|||||
|
排気口径(JIS B2290) |
VG40 |
VG40 |
VG40 |
VG50 |
VG50 |
||||
|
オプション |
①真空計Vacuum gauge /コンバーターinverter，②真空破壊バルブVacuum release，③オイルミストトラップoil mist trap ，④冷却水流量ON/OFFスイッチ Cooling water flow switch ，⑤電器制御ボックス control panel 。 |
||||||||
* 1：到達圧力は、ピラ二真空計による測定値です。
* 2：標準モータは、50Hz-380V/400V/415V、60Hz-380V/400V/440V、50Hz-200V、60Hz-200V/220Vです。
* 3：VDN301の場合、50Hz-1.1kW、60Hz-1.5kWのは標準です。
* 4：ポンプ油の特性により、ポンプ性能が異なる。ポンプ性能への影響が出ないように弊社のご指定のポンプ油を使用すること。
* 5：NB300Aが吸入圧530Pa以下で連続運転の場合、空冷でも対応できます。
