
VSN6501/VSN7501油回転真空ポンプ
-
特長
低振動
ベーン型構造により、振動伝達の大きい低周波領域の振動を大幅に低減。
内蔵式オイルミストトラップを設置。
外付けオイルミストトラップの組み付け不必要。コンパクトな構造。
優れた水分排出能力。
直接ルーツポンプを搭載使用可能。接続が簡単。
効果的な空気冷却可能。同時に水冷オプション。
非開放式工場環境で、水冷を選択すると効果的な省エネが可能です。
用途
• 成膜、スパッタリング、イオンメッキ。
• ガス置換、充填、真空断熱。
• 真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉。
• 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気。
• リークテスト装置、真空成型、真空鋳造。
• 真空包装、真空吸着・搬送、その他。
型式 |
VS650A-A |
VS650A-W |
VS750A-A |
VS750A-W |
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排気速度 m3/h(L/min) |
50Hz |
650(10833) |
750(12500) |
|||
60Hz |
750(12500) |
運転できません |
||||
到達圧力 *1 Pa |
GP 閉 |
≤ 8 |
||||
GP 1箇所 開 |
≤ 50 |
|||||
GP 2箇所 開 |
≤ 60 |
|||||
蒸気許容値 *2 Pa |
GP |
50Hz |
4500 |
2500 |
5500 |
2500 |
60Hz |
5500 |
2500 |
運転できません |
|||
GP |
50Hz |
6000 |
3800 |
7500 |
4000 |
|
60Hz |
7500 |
4000 |
運転できません |
|||
水蒸気処理量 *2 kg/h |
GP 1箇所 開 |
50Hz |
17 |
11 |
24 |
13 |
60Hz |
24 |
13 |
運転できません |
|||
GP 2箇所 開 |
50Hz |
26 |
15 |
34 |
19 |
|
60Hz |
34 |
19 |
運転できません |
|||
モータ *3 |
仕様 |
全閉外扇形 三相誘導電動機 |
||||
出力kw(Poles) |
22(4) |
|||||
消費電力 kW *6 |
50Hz |
200〜240/380〜415 |
||||
60Hz |
200〜240/380〜460 |
運転できません |
||||
使用油 *4 |
ULVOIL R-7 |
|||||
所要油量 L |
23〜27 |
25〜30 |
23〜27 |
25〜30 |
||
冷却方式 |
空冷 |
水冷 |
空冷 |
水冷 |
||
冷却水 |
冷却水入口圧力 MPa |
- |
≥ 0.5 |
- |
≥ 0.5 |
|
冷却水出入口差圧 MPa |
- |
≥ 0.1 |
- |
≥ 0.1 |
||
冷却水量 L/min |
- |
≥ 3.0 |
- |
≥ 3.0 |
||
冷却水温度 °C |
- |
5〜30 |
- |
5〜30 |
||
吸気口 |
DN100 ISO-K |
|||||
排気口 |
DN100 ISO-K |
|||||
重量 kg |
806 |
800 |
802 |
796 |
||
外形寸法 W×D×H mm |
1490×905×705 |
1490×841×705 |
1490×905×705 |
1490×841×705 |
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適合規格 |
CE/cTUVus |
|||||
標準付属品 |
一次用油量、使用説明書(ポンプ、モータ)。 |
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オプション |
耐圧防爆型モータ、電圧指定モータ、吸気口JISフランジ、フィルター付き無しの主動ガスバラストバルブ2個、 電磁弁付きガスバラストバルブ1個、電磁弁付きガスバラストバルブ2個。 |
型式 |
VS650A-W |
VS750A-W |
|
GP 1箇所開 |
50Hz |
3 L/min. |
5 L/min. |
60Hz |
5 L/min. |
- |
|
GP 2箇所開 |
50Hz |
3 L/min. |
5 L/min. |
60Hz |
5 L/min. |
- |
注意:
* 1. 到達圧力は、ピラニ真空計による測定値です。
* 2 水蒸気許容値、及び水蒸気処理量は以下の冷却水条件に沿って測定を行う。なお、冷却水入口温度は26°Cです。
* 3 オプションにて、耐圧防爆型モータも対応できる。ただし、マルチ電圧は選定できません。
* 4 他の種類の油も用意している為、お問い合わせを大歓迎します。
* 5 吸排気口をJISフランジを採用した場合、配管取合の寸法が変化します。
* 6 到達圧力際の数値です。


