
VSN1501 / VSN2401油回転真空ポンプ
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特長
全圧強(pressure)(又はPa)領域での連続運転に対応できます。
高吸気強圧(pressure)でも安定して運転できる強制運転の給油方式とシリンダーの水冷方式を採用。オプションのオイルミストトラップ、オイル戻し装置、耐熱仕様のシールを選択することにより、真空ポンプは大気圧以下の全強圧(pressure)の範囲で連続運転が可能です。
低騒音を実現
到達圧力際の運転音を低減する構造をを採用した為、VSN1501、VSN2401の騒音が74Db(A)より低いという低騒音化を達成しました(到達圧力際、オイルミストトラップ有、ポンプから1m間隔距離での測定値)。
低振動を実現
ベーン型構造により高速化(50Hz、1500r/min)を達成し、振動伝達の大きい低周波領域の振動を大幅に低減しました。大規模な基礎工事が不要になり、工場建屋内の2階、3階への設置が容易になります。
優れたメンテナンス性
メンテナンス作業を容易にする為、,油量確認, 油補給, 油交換のポンプの箇所は統一して、同一操作箇所としています。
油の補給期間を延長する為、,8 ~ 10.5Lの可変油量を採用しています。
用途
成膜、スパッタリング、イオンプレーティング。
ガス置換、充填、真空断熱。
真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉。
真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気。
リークテスト装置、真空成型、真空鋳造。
真空包装、真空吸着・搬送、その他。
項目 \ 型式 |
VSN1501 |
VSN2401 |
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排気速度 |
50 Hz |
150(2500) |
240(4000) |
60 Hz |
180(3000) |
288(4800) |
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到達圧力*1 Pa |
G.V.Closed *2 |
5.3 |
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G.V.Open *2 |
67 |
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モータ |
kW(極数) |
5.5(4) |
7.5(4) |
Hz- V |
50-380/400/415、60-380/400/440 |
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回転速度 r/min |
50 Hz |
1500 |
|
60 Hz |
1800 |
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使用油 |
ULVOIL R-7 |
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所要油量 L |
Minimum |
8.0 |
|
Maximum |
10.5 |
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冷却水流量 |
L/min |
4 |
5 |
冷却水圧 |
MPa |
≤0.3(gauge pressure) |
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冷却水差圧 |
MPa |
0.1 |
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冷却水入口温度 |
℃ |
5 ~ 30 |
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重量 |
kg |
231 |
267 |
* 1. 用皮拉尼真空计测得的值 ⇒*1. 到達圧力は、ピラニ真空計による測定値です。
* 2.G.V: ガスバラストバルブの略称です。

