製品情報

    VSN1501 / VSN2401油回転真空ポンプ

      特長
      全圧強(pressure)(又はPa)領域での連続運転に対応できます。
      高吸気強圧(pressure)でも安定して運転できる強制運転の給油方式とシリンダーの水冷方式を採用。オプションのオイルミストトラップ、オイル戻し装置、耐熱仕様のシールを選択することにより、真空ポンプは大気圧以下の全強圧(pressure)の範囲で連続運転が可能です。

      低騒音を実現
      到達圧力際の運転音を低減する構造をを採用した為、VSN1501、VSN2401の騒音が74Db(A)より低いという低騒音化を達成しました(到達圧力際、オイルミストトラップ有、ポンプから1m間隔距離での測定値)。

      低振動を実現
      ベーン型構造により高速化(50Hz、1500r/min)を達成し、振動伝達の大きい低周波領域の振動を大幅に低減しました。大規模な基礎工事が不要になり、工場建屋内の2階、3階への設置が容易になります。

      優れたメンテナンス性
      メンテナンス作業を容易にする為、,油量確認, 油補給, 油交換のポンプの箇所は統一して、同一操作箇所としています。
      油の補給期間を延長する為、,8 ~ 10.5Lの可変油量を採用しています。

      用途
      成膜、スパッタリング、イオンプレーティング。
      ガス置換、充填、真空断熱。
      真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉。
      真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気。
      リークテスト装置、真空成型、真空鋳造。
      真空包装、真空吸着・搬送、その他。
性能諸元
寸法図
排気速度
    サンプルダウンロード
項目 \ 型式

VSN1501

VSN2401

排気速度
m3/h (L/min)

50 Hz

150(2500)

240(4000)

60 Hz

180(3000)

288(4800)

到達圧力*1  Pa

G.V.Closed *2

5.3

G.V.Open *2

67

モータ

kW(極数)

5.5(4)

7.5(4)

Hz- V

50-380/400/415、60-380/400/440

回転速度 r/min

50 Hz

1500

60 Hz

1800

使用油

ULVOIL  R-7

所要油量  L

Minimum

8.0

Maximum

10.5

冷却水流量

L/min

4

5

冷却水圧

MPa

≤0.3(gauge pressure)

冷却水差圧

MPa

0.1

冷却水入口温度

5 ~ 30

重量

kg

231

267

* 1. 用皮拉尼真空计测得的值 ⇒*1. 到達圧力は、ピラニ真空計による測定値です。
* 2.G.V: ガスバラストバルブの略称です。